五天后的上午九点左右,许振鸣再一次的来到这间光刻🏕🙺室,想要了解万宁古等人的🀪⛊项目进度情况。
这时候,车间里📼☣🁑已经整理干净,一台组装好的光刻机矗立在车间的正中央。
这台光刻机就是万宁古等人的劳动成果,主🄉体系统全是一鸣集团公司自己制造的,激光光路系统是从此米国佬光刻上拆下来🏔🙱🎊的样品。
“准备开机,先启动冷却循环水交换器系🌫统。””万宁古此时拿着对讲机,给手下的团队成员们下达命令。
看到许振鸣走来,他嘴角含笑的告🃡🙒诉许振鸣,“许董,这台国产光刻机我🀩们已经完成初步调试,到目前为止还没有发现问题。”
万宁古告诉许振鸣,一天以前他们就已经🌫完成光刻机的总🞝🕈🇦装,第一次初步调试发现有问题,国产激🝍光光源系统的散热有缺陷会影响第第三代光刻机的性能。
“所以,我们临时增🝧加一个循环水的冷却系统来给这台光刻机降降温。”万宁古笑了笑🈸。
许振鸣不了解这些技术细节问题,只是对这台光刻机的成功时间节点感兴趣。“你们现🈸在准备干吗?马上要调试了么,吗”他侧脸朝万宁古等人看了一眼。
“许董,我📛🛣们现在就是在🜖测试这台光☼🄫🀣刻机。”
“还有一个📛🛣小时,我们就能做流片模拟实验了。”
何昌林等人给出许振鸣明确的答复。由此看来,他们已经对这🌎台国第三代光刻机进行过初步调试和试生产,否则没有这么大的底气。
听到这话🉠🈲🂎,许振鸣的心情倒是好了许多。他静静的的站在那里,目光落在万宁古等人的身上。
“报告万总,循环水冷却系统已经启动完毕🄉。”
“万总,空气净化抽烟系统已经启动好,我🄉们随时🚗📡🜗能开始做光刻模拟实验。”
“万总,咱们现在就开始么?”
不多久,万宁国手下的工程师已经完成工作,纷纷走来把自己负责检查的结果汇报一遍。事实上,不用他们汇报♎情况,万宁古其实也已经知道这台设备的数据结果。
此时此刻,这台光刻机的主工☔⚲🕒作站,显示器上正显示着各项数据。这些数据就是光刻机各个部件的实时数据。比如说,光刻车间里的温度、湿🇼🏳度、车间里的灰尘颗粒物的大小等。
但☨🁼万宁古却没有按照光刻机工作站的屏幕,显示的数据来作为判断。他还是安排人员,去一项数据一贤数据的排查🉂🄜♾,核对实时数据。
经过一番比对,万宁古再次看了看手中的数据表格文件🏕🙺,发现一切数据都正常。他随后朝下的团队成员猛然一挥手,“开始!咱们立即开始做光刻模拟实验。”